发明名称 PATTERN FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100212705(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960007079 申请日期 1996.03.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 HAN, SEUNG SIK;JANG, IL JIN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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