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发明名称 Einrichtung mit eingebautem Antrieb
摘要
申请公布号 DE69507225(T2) 申请公布日期 1999.07.29
申请号 DE19956007225T 申请日期 1995.08.31
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAI, TADAO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03B3/10;G02B7/08;G02B7/09;G03B13/34;G03B17/00;H01L41/04;H02K5/24;H02N2/00;(IPC1-7):H01L41/04;H02N2/14 主分类号 G03B3/10
代理机构 代理人
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