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发明名称
摘要
申请公布号 JP2918397(B2) 申请公布日期 1999.07.12
申请号 JP19920169358 申请日期 1992.06.26
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 NAKAJIMA MICHIO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/326;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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