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发明名称 ENTFERNUNG VON OBERFLÄCHEN-VERSEUCHUNGEN DURCH AUSSTRAHLUNG
摘要
申请公布号 AT180703(T) 申请公布日期 1999.06.15
申请号 AT19930908539T 申请日期 1993.03.24
申请人 CAULDRON LIMITED PARTNERSHIP 发明人 ENGELSBERG, AUDREY, C.;DEHAIS, JOSEPH, A.
分类号 B23K26/00;B08B7/00;B23K26/14;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/268;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):B23K26/14 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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