| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11145485(A) |
申请公布日期 |
1999.05.28 |
| 申请号 |
JP19970302648 |
申请日期 |
1997.11.05 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
HASEGAWA TOMOYASU;NEGORO YASUHIRO |
| 分类号 |
G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;G01P15/12;G01P15/125;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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