| 发明名称 |
THIN FILM DEPOSITION DEVICE AND DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11140633(A) |
申请公布日期 |
1999.05.25 |
| 申请号 |
JP19970303821 |
申请日期 |
1997.11.06 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
ITO MASAYUKI |
| 分类号 |
C30B23/02;C23C14/24;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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