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<p>Die Vorrichtung zur Erfassung von sechs Komponenten der Relativbewegung zweier Körper bei einer primär zweidimensional translatorischen Grundbewegung besteht aus einer, mit einer zweidimensionalen, optischen Gitterteilung versehenen Platte (2), die mit mehreren (drei), vertikal angeordneten Einrichtungen (10-12) zur Abstandserfassung (z.B. Taster) ausgestattet ist, sowie einem zweiten Element (1), bestehend aus einer Anordnung zweier oder dreier optische Gitter (6-8) (Lesekopf) und einer zu diesen parallelen, ebenen Fläche (9). Die erste Platte (2) wird auf einem Körper befestigt. Das zweite Element (1) wird mit einem zweiten Körper dem erstem Körper derart angenähert, dass die optischen Gitter über Auswertung der Intensitätsschwankungen des reflektierten Lichts eine Erfassung der zur unteren Platte parallelen Relativverschiebungen in X- und Y-Richtung erlauben. Werden drei, davon zwei zueinander parallele optische Gitter zur Auswertung verwendet, lassen sich die horizontalen Relativbewegungen und Relativrotation (C-Rotation um Z) senkrecht zur unteren Plattenflächen erfassen. Simultan hierzu erfassen die vertikal angeordneten Abstandserfassungseinrichtungen die Abstände zwischen den beiden Einrichtungen an drei Stellen. Aus den Auslenkungen dieser z.B. Taster lassen sich die weiteren Komponenten der Relativbewegung der beiden Körper Z-Abstand/Bewegung, Lagen/Rotationen und die X- und Y-Achse gleichzeitig zu den oben genannten Relativverschiebungen und Rotationen in der X-Y-Ebene erfassen. Die Taster (10-12) können auch am oberen Körper (2) angebracht sein.</p> |
