发明名称 |
MICRO-PATTERN FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR0171943(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
申请号 |
KR19950017481 |
申请日期 |
1995.06.26 |
申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD |
发明人 |
BOK, CHOL-KYU |
分类号 |
G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|