| 主权项 |
1.一种压力式流量控制装置,系针对将孔口之上游侧绝对压力P1和下流侧绝对压力P2之比値P2/P1,保持在0.7以下,来进行流体之流量控制的压力式流量控制装置;其特征为:系由孔口(5);及设在孔口(5)的上游侧之控制阀(2);及设置在孔口(5)下游侧之孔口对应阀(9);及设置在控制阀(2)和孔口(5)之间的一次压力检测器(3);及设置在孔口(5)的下游侧之二次压力检测器(11);及根据一次压力检测器(3)之检测压力P1,以Qc=KP1(K为常数)来计算流量Qc,且将流量指令信号Qs和计算流量Qc之差値做为控制信号Qy,而将控制信号Qy输出至控制阀(2)之驱动部(14)的流量计算装置(6);及计算一次压力检测器(3)之检测压力P1和二次压力检测器(11)之检测压力P2之比値P2/P1的压力比较计算装置(10)所构成;且根据前述控制信号Qy来开闭控制阀(2),调节压力P1,以此手段来控制孔口下游侧之流量。2.如申请专利范围第1项所述之压力式流量控制装置,其中在压力比较计算装置(10)中,设置当一次压力检测器(3)之检测压力P1和二次压力检测器(11)之检测压力P2之比値P2/P1超过0.7时,发出警报之警报发信机构,根据该警报信号,将控制阀(2)以及孔口对应阀(9)切换成手动控制或是以另外的控制手段之状态。3.如申请专利范围第1项所述之压力式流量控制装置,其中在压力比较计算装置(10)中,设置当一次压力检测器(3)之检测压力P1和二次压力检测器(11)之检测压力P2之比値P2/P1大致等于1时,发出警报之警报发信机构,且将关闭阀信号传送至控制阀(2)以及/或孔口对应阀(9)。4.如申请专利范围第1项所述之压力式流量控制装置,其中孔口(5)之剖面形状呈现喇叭吹奏部的形状,其构成为具备:面对上游侧之最大直径部、位于中间的最小直径部及面对下游侧之中间直径部。5.如申请专利范围第1项所述之压力式流量控制装置,其中孔口(5)系构成可以自由地交换。6.如申请专利范围第1项所述之压力式流量控制装置,其中将控制阀(2)之阀本体(12)及孔口对应阀(9)之阀本体(9a)形成一体而成为模组化,且在模组化后之阀本体上,分别形成一次压力检测器安装孔、二次压力检测器安装孔以及孔口安装孔。图式简单说明:第一图系表示关于本发明之压力式流量控制装置之构成的方块图。第二图系表示孔口之一例的纵剖面图。第三图系压力式流量控制装置之纵剖面图。第四图系压力式流量控制装置之横剖面图。第五图系控制阀之压电元件型驱动部之纵剖面图。第六图系由第五图之A-A线来看之剖面图。第七图系表示压力式流量控制装置之压力检测器的安装部之部分纵剖面图。第八图系表示压力式流量控制装置之其他实施例的纵剖面图。第九图系表示将孔口设置在控制阀的本体上之情况的其他例之部分纵剖面图。第十图系表示将孔口设置在控制阀的本体上之情况的另外一例之部分纵剖面图。第十一图系关于其他实施形态的压力式流量控制装置之剖面概要图。第十二图系表示使用本发明之孔口之情况下的下游侧压力和流量的关系之特性图(上游侧压力一定之情况下)。第十三图系第十二图之扩大图。第十四图系说明第十二图及第十三图之特性试验装置的概要说明图。第十五图系表示关于本发明之压力式流量控制装置之流量控制特性(孔口之下游侧压力为真空之情况下)。第十六图系表示关于本发明之压力式流量控制装置之流量控制特性(孔口之下游侧压力为大气压力之情况下)。第十七图系表示习知的差压式流量控制装置之方块线图。 |
