发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1136071(A) 申请公布日期 1999.02.09
申请号 JP19970191685 申请日期 1997.07.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MARUYAMA KENJI;YOKOYAMA MASAHIDE
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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