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发明名称 VAPORIZATION DEVICE OF LIQUID RAW MATERIAL, AND CLEANING METHOD OF CVD DEVICE PROVIDED THEREWITH
摘要
申请公布号 JPH1112740(A) 申请公布日期 1999.01.19
申请号 JP19970183184 申请日期 1997.06.23
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYAKE KOJI;KUWABARA SO
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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