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发明名称 Improvements in or relating to integrated circuits
摘要
申请公布号 EP0851474(A3) 申请公布日期 1998.12.23
申请号 EP19970310064 申请日期 1997.12.12
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 WALLACE, ROBERT M.;BABER, S. CHARLES;CHEN, PEIJUN;HENCK, STEVEN A.
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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