发明名称 PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH10270193(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970072014 申请日期 1997.03.25
申请人 NICHIMEN DENSHI KOKEN KK;UTEC:KK 发明人 SAKAMOTO YUICHI;TADA SHIGEKAZU;SUZUKI MITSUHIRO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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