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发明名称 Ionenimplantationsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE3616569(C2) 申请公布日期 1998.07.16
申请号 DE19863616569 申请日期 1986.05.16
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US 发明人 GLAVISH, HILTON F., REDWOOD CITY, CALIF., US;SIMCOX, GORDON KENNETH, LEXINGTON, MASS., US;DENHOLM, A. STUART, PRIDES CROSSING, MASS., US
分类号 H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265;H05H7/00;H05H9/00;(IPC1-7):H01J37/317;C23C14/48;H05H7/22 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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