| 摘要 |
<p>공정챔버의 리크(Leak) 검사시 리크부분을 정확하게 찾을 수 있도록 하여 수리 및 점검작업이 용이하도록 된 반도체 제조용 공정챔버의 리크 검사를 위한 밀폐구조에 관한 것이다. 본 고안은 내부에 캐소우드(2)가 설치된 공정챔버(1)의 리크를 검사하기 위한 밀폐구조에 있어서, 상기 캐소우드(2)를 분리함으로써 형성된 공정챔버(1)의 조립구멍(5)에 밀폐판(11)을 기밀이 유지되도록 설치하여 공정챔버(1)의 내부를 밀폐시키도록 구성된 것이다. 따라서 공정챔버만의 리크 검사가 가능하게 됨으로써 리크발생부분을 쉽게 찾을 수 있고, 이로써 리크 검사에 따른 설비의 점검 및 수리작업에 소요되는 시간이 단축되며, 작업능률이 향상되는 효과가 있다.</p> |
