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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10125665(A) 申请公布日期 1998.05.15
申请号 JP19970319019 申请日期 1997.11.04
申请人 OMI TADAHIRO 发明人 OMI TADAHIRO
分类号 H05H1/46;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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