| 发明名称 |
DEVICE FOR MANUFACTURING QUARZ GLASS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1087334(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960240620 |
申请日期 |
1996.09.11 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKAGAWA KAZUHIRO;FUJIWARA MASASHI |
| 分类号 |
G03F7/20;C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;(IPC1-7):C03B8/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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