发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPS5255392(A) 申请公布日期 1977.05.06
申请号 JP19750130393 申请日期 1975.10.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANABE MASANORI;MATSUDA YASUMASA;SUZUKI KIYOMITSU;KIMURA ICHIRO
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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