| 发明名称 |
Process for the manufacture of a micromachines device to contain or convey a fluid |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG47036(A1) |
申请公布日期 |
1998.03.20 |
| 申请号 |
SG19960003690 |
申请日期 |
1994.05.13 |
| 申请人 |
UNIVERSITY DE NEUFCHATEL |
发明人 |
ROOIJ DE NICOLAS FRANS;JEANNERT SYLVAIN;VOLKER GASS;SCHOOT VAN DER BART |
| 分类号 |
A61J3/00;A61M1/14;F04B43/04;H01L21/306;(IPC1-7):F04B43/04;H01L21/469 |
主分类号 |
A61J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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