发明名称 冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法
摘要 本发明针对传统抛光垫在抛光加工过程中效率低、成本高、均匀性和可靠性差、工艺控制能力不强等缺点,提出了一种冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法,以适应目前抛光精加工的需求。本发明利用液体作为粘结剂,通过冷冻将纳米磨料粘结形成抛光垫,可用于抛光加工各种薄形工件,尤其适于加工热敏性材料、软材料、晶体材料等。具有制造简单、加工成本低、加工效率高、工艺控制能力强、绿色环保等优点。
申请公布号 CN1903510A 申请公布日期 2007.01.31
申请号 CN200610041112.7 申请日期 2006.08.03
申请人 南京航空航天大学 发明人 左敦稳;孙玉利;黎向锋;朱永伟;徐锋
分类号 B24D17/00(2006.01);B24D18/00(2006.01) 主分类号 B24D17/00(2006.01)
代理机构 南京天华专利代理有限责任公司 代理人 瞿网兰
主权项 1、一种冷冻纳米磨料抛光垫,其特征是主要由纳米磨料、添加剂和冷冻后起到粘结作用的液体组成,其中磨料占总重量的10%~70%,添加剂占总重量的5%~9%,余量为最终结成冰的液体。
地址 210016江苏省南京市御道街29号