发明名称 小球球径差测量仪
摘要 本发明的小球球径差测量仪,是用于圆珠笔芯中球珠、微型轴承滚珠以及各种小球形有高质量要求的小球球形测量。主要由含有光学尖劈工作台的光学测量系统和列阵采数及计算机数据处理系统三部分所构成。具有测量精度高(测量精度可达0.05微米)、速度快(每粒球珠测量时间小于5分钟)、装球简单、操作方便等优点。
申请公布号 CN1037210C 申请公布日期 1998.01.28
申请号 CN92108418.8 申请日期 1992.05.15
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 沃敏政;邹海兴
分类号 G01B11/08 主分类号 G01B11/08
代理机构 上海华东专利事务所 代理人 李兰英;张泽纯
主权项 1.一种小球球径差测量仪,由光学测量系统(1),列阵采数系统(3)和计算机数据处理系统(2)所构成,其特征在于光学测量系统(1)的具体结构是:由光源(4)开始,沿着光束前进的方向上依次有聚光系统(5)、狭缝(6)、反射镜(7)、显微物镜(8),显微物镜(8)将狭缝(6)成像到光路中的工作台(9)上光学尖劈中的待测小球(21)上,继续沿其光束的前进方向上有显微物镜(10)将待测小球(21)成像到列阵采数系统(3)中的列阵接收器(15)上,列阵接收器(15)的输出经系统电路(17)放大后进入计算机数据处理系统(2)中的计算机(18)内,在显微物镜(10)与列阵接收器(15)之间可置入可移动反光棱镜(11),可移动反光棱镜(11)将待测小球(21)成像到观察光路中的小球成象位置(13)上,在小球成象位置(13)之后有供观察用的目镜(12)。
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