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发明名称 PROCESS FORMING TOPOLOGY OF INTEGRATED MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号 RU2099810(C1) 申请公布日期 1997.12.20
申请号 RU19960114207 申请日期 1996.07.10
申请人 "TEKHNOLOGII DLYA VAS", AKTSIONERNOE OBSHCHESTVO ZAKRYTOGO TIPA 发明人 KRIVORUCHKO VALENTIN A;PETROV NIKOLAJ A;FEDORENKO VASILIJ V
分类号 H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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