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发明名称 EVACUATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH09317645(A) 申请公布日期 1997.12.09
申请号 JP19960151590 申请日期 1996.05.23
申请人 EBARA CORP 发明人 NOMICHI SHINJI;NIIMURA YOSHIHIRO;OGAMINO HIROAKI;HATTORI HIROSHI
分类号 F04B39/16;F04B37/16;H01L21/02;(IPC1-7):F04B39/16 主分类号 F04B39/16
代理机构 代理人
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