发明名称 Einrichtung zur Beschichtung optischer Substrate.
摘要
申请公布号 CH688529(A5) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 CH19940003675 申请日期 1994.12.05
申请人 SATIS VACUUM INDUSTRIES AG 发明人 SUTER, RUDOLF
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):G02B1/10;G02F1/23;C23C14/00;G02C7/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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