| 发明名称 |
KANGEKISETSUTEIHOHOOYOBISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2656333(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.24 |
| 申请号 |
JP19880329732 |
申请日期 |
1988.12.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
ISHIBASHI YORYUKI;HIRANO RYOICHI;YAMASHITA KYOJI |
| 分类号 |
G01B11/14;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01B11/14 |
主分类号 |
G01B11/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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