发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09232305(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960034574 申请日期 1996.02.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI YASUMICHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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