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发明名称 Method of manufacturing a superconducting microwave component substrate
摘要
申请公布号 EP0517560(B1) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 EP19920401374 申请日期 1992.05.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 MATSUURA, TAKASHI;HIGAKI, KENJIRO;ITOZAKI, HIDEO
分类号 C01G1/00;C04B41/80;C04B41/87;C23C14/58;H01L39/24;H01P11/00;H05K1/09;H05K3/16;(IPC1-7):H01L39/24;H01L39/14 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
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