发明名称
摘要
申请公布号 JP2529950(Y2) 申请公布日期 1997.03.26
申请号 JP19900083639U 申请日期 1990.08.09
申请人 发明人
分类号 B26D7/08;B23D47/00;B23D63/12;B24B3/46;B26D7/12;H01L21/304;(IPC1-7):B26D7/12 主分类号 B26D7/08
代理机构 代理人
主权项
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