发明名称 DEVICE FOR TREATING METALLIC THIN SHEET
摘要
申请公布号 JPH0971882(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950251943 申请日期 1995.09.04
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 UENO MAMORU
分类号 G03F7/16;C23C2/00;C23F1/08;C23G3/00;H01J9/14;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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