| 发明名称 |
SHAPE CREATING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0970669(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19950230347 |
申请日期 |
1995.09.07 |
| 申请人 |
MORI YUZO;NIKON CORP |
发明人 |
TAKINO HIDEO;ITO HIROSHI;SHIBATA NORIO;EBI MASAMI;TANAKA HIROAKI;MORI YUZO |
| 分类号 |
H05H1/46;B23K10/00;C23F4/00;G02B3/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L27/14;(IPC1-7):B23K10/00;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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