| 发明名称 |
ORGANOBISMUTH COMPOUND FOR FORMING THIN FILM OF BISMUTH AND BISMUTH OXIDE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF ORGANO-METALLIC COMPOUND HAVING HIGH VAPOR PRESSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08269717(A) |
申请公布日期 |
1996.10.15 |
| 申请号 |
JP19950075361 |
申请日期 |
1995.03.31 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SAI ATSUSHI;UCHIDA HIROTO;SATO MASAMITSU;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C01G1/00;C01G29/00;C07F9/94;C23C16/18;C30B25/00;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/18 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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