发明名称 Verfahren zum Anordnen von Komponenten in einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69027239(T2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE19906027239T 申请日期 1990.03.15
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP;FUJITSU VLSI LTD., KASUGAI, AICHI, JP 发明人 NISHIOKA, SEISHI, KASUGAI-SHI AICHI 487, JP;OKADA, ATSUHIKO, KASUGAI-SHI AICHI 487, JP
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/02 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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