| 发明名称 |
SUBSTRATE COATED WITH BORON NITRID CONTAINING FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08239753(A) |
申请公布日期 |
1996.09.17 |
| 申请号 |
JP19950041765 |
申请日期 |
1995.03.01 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IWAMOTO YASUSHI;EBE AKINORI;NISHIYAMA SATORU;OGATA KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/06;C04B41/50;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
