发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08203942(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950031346 申请日期 1995.01.27
申请人 NEC CORP;NAITO DENSEI KOGYO KK 发明人 MASUDA TSUGIO;KUROKAWA YASUHIRO;MORISHIGE TOSHIO
分类号 H01L21/60;H01L21/56;H01L23/15;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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