| 发明名称 |
METHOD FOR REMOVING FOREIGN OBJECT ATTACHED TO SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08148461(A) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
| 申请号 |
JP19940309805 |
申请日期 |
1994.11.18 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORP |
发明人 |
CHIKADA YASU;MIKI KAZUYUKI |
| 分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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