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发明名称 DEVICE FOR DOPING PART SURFACE WITH ION BEAM
摘要
申请公布号 RU2061275(C1) 申请公布日期 1996.05.27
申请号 SU19925028670 申请日期 1992.02.25
申请人 VEDMANOV GRIGORIJ D;KOVALSKIJ EVGENIJ A;KHOKHLOV KONSTANTIN O 发明人 VEDMANOV GRIGORIJ D;KOVALSKIJ EVGENIJ A;KHOKHLOV KONSTANTIN O
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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