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发明名称 Wirbelschicht-Verfahren und -Reaktor für die Herstellung von polykristallinem Silicium
摘要
申请公布号 DE3910328(C2) 申请公布日期 1996.04.04
申请号 DE19893910328 申请日期 1989.03.30
申请人 ADVANCED SILICON MATERIALS INC., MOSES LAKE, WASH., US 发明人 ACHARYA, ARUN, EAST AMHERST, N.Y., US;BE VIER, WILLIAM EDGAR, KENMORE, N.Y., US
分类号 F23C10/00;B01J8/18;B01J8/24;C01B33/029;C01B33/03;(IPC1-7):C01B33/027 主分类号 F23C10/00
代理机构 代理人
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