| 发明名称 | 硫化锌薄膜的真空补硫法 | ||
| 摘要 | 硫化锌薄膜的真空补硫法是一种用于电致发光薄膜的补硫方法，将采用双元蒸发或溅射法沉积ZnS∶Mn薄膜的基片与适量的固体硫分别装在不同的容器内，并一起密封在真空室内，真空室的压强低于1帕，再对真空室进行加热，其温度为450～600℃，保温时间为1～4小时，固体硫升华为硫蒸气再扩散到薄膜中。本发明具有设备简单、操作方便等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1031418C | 申请公布日期 | 1996.03.27 |
| 申请号 | CN92107771.8 | 申请日期 | 1992.09.26 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 陈国平;黄蕙芬 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/58;C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14 | 主分类号 | C23C14/06 |
| 代理机构 | 东南大学专利事务所 | 代理人 | 楼高潮;柯景风 |
| 主权项 | 1、一种用于电致发光薄膜补硫的硫化锌薄膜真空补硫法，其特征在于将沉积有ZnS∶Mn薄膜的基片放置在容器内，并与另一个装有适量硫的容器一起密封在一真空室内，再对真空室进行加热，加热温度为450～600℃，保温时间为1～4小时，真空室的压强小于1帕。 | ||
| 地址 | 210018江苏省南京市四牌楼2号 | ||