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发明名称
ULTRAVIOLET RAY ERASING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0831900(A)
申请公布日期
1996.02.02
申请号
JP19940162124
申请日期
1994.07.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
SASABUCHI HIROYUKI
分类号
H01L21/66;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/824
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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