| 发明名称 |
OBSERVING METHOD OF FILM FORMATION BY MEASUREMENT OF REFLECTION DISPLACEMENT OF LASER BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0821708(A) |
申请公布日期 |
1996.01.23 |
| 申请号 |
JP19940157609 |
申请日期 |
1994.07.08 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
NAKABAYASHI SEIICHIRO;UOSAKI KOHEI |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/00;G01N21/21;G01N21/75;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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