| 发明名称 |
METHOD OF FORMING MINUTE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07312332(A) |
申请公布日期 |
1995.11.28 |
| 申请号 |
JP19940102958 |
申请日期 |
1994.05.17 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NUMAZAWA TOSHIYUKI |
| 分类号 |
G03F7/20;B81B1/00;B81C1/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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