| 发明名称 |
METHOD FOR WASHING SILICON PIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07242494(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940064551 |
申请日期 |
1994.03.08 |
| 申请人 |
KOUJIYUNDO SILICON KK |
发明人 |
YAMAMOTO TAKASHI;WATABE KENICHI;TAKAGI NORITAKA |
| 分类号 |
C30B29/06;C01B33/02;H01L21/304;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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