发明名称 ECR ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07233487(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940026670 申请日期 1994.02.24
申请人 RICOH OPT IND CO LTD 发明人 UMEKI KAZUHIRO;SATO MASAAKI;SATOU MASANORI;AKIYAMA SHOICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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