| 摘要 |
Werkwijze voor het vervaardigen van multilaagspiegels voor toepassing met röntgenstraling. Gebruikelijke multilaagspiegels zijn opgebouwd uit discrete dunne lagen, in het algemeen bestaande uit afwisselend een absorptielaag en een spacerlaag. Om de oppervlakteruwheid van de dunne lagen tegen te gaan is het bekend om de lagen na opbrengen door ionen-etsen glad te maken. Een nadeel is dat het materiaal van één laag doordringt in de andere laag, waardoor de plaats van de grenslaag en de dikte van de lagen van de multilaagspiegel niet goed meer gedefinieerd is. Volgens de uitvinding wordt een multilaagspiegel vervaardigd door juist te bevorderen dat een der materialen in da laag met andere materiaal dringt, waarna de oorspronkelijke laagdikte van het eerste materiaal wordt weggeëtst. Door dit proces laag voor laag te herhalen ontstaat een multilaagspiegel die niet afwisselend uit homogene, discrete lagen van verschillend materiaal bestaat, maar uit zich telkens herhalende lagen van één der materialen waarin het andere materiaal is ingedrongen. |
