发明名称 具有聚硅氧烷的带水刻胶
摘要 一种带水的可感光成象的组合物或光刻胶包括一种具有足够羧酸官能度的胶乳粘合剂聚合物以使其能在碱性水溶液中可以显影,它包括一种可光聚合的单体组分,光引发剂化学品体系和聚硅氧烷。
申请公布号 CN1106936A 申请公布日期 1995.08.16
申请号 CN94118621.0 申请日期 1994.11.21
申请人 莫顿国际股份有限公司 发明人 鲁贝脱·K·巴尔;基因A·梯利科
分类号 G03F7/075;G03F7/035 主分类号 G03F7/075
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 吴惠中
主权项 1、一种可在水中感光相成象的组合物,其特征在于所述的组合物包括:(A)约30-80%(重量)的具有酸值约在50-250之间的羧酸官能度的胶乳粘合剂聚合物;(B)含有约15-50%(重量)的α-、β-乙烯链的不饱和单体的某种组分;(C)约0.1-25%(重量)的能产生游离基的光引发剂或光引发剂化学品体系;(D)约1-40%(重量)的中和碱和/或聚醚聚氨酯联合的增稠剂,其数量足以使该所述的胶乳粘合剂聚合物的乳浊液稳定以及;(E)约0.1-10%(重量)的聚硅氧烷或聚硅氧烷混合物,所述的重量百分数系基于组分A-E的总重。
地址 美国伊利诺伊州