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发明名称 PRODUCTION OF GAAS SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07206588(A) 申请公布日期 1995.08.08
申请号 JP19940000666 申请日期 1994.01.10
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SUZUKI TAKASHI
分类号 C30B15/20;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
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