发明名称 Excimer laser
摘要
申请公布号 GB2258754(B) 申请公布日期 1995.04.26
申请号 GB19920014438 申请日期 1992.07.07
申请人 * UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 JOHN MICHAEL * GREEN;MICHAEL ROBERT * OSBORNE;RICHARD JOHN * WINFIELD;ARTHUR FREDERICK DAVID SYLVESTER * TAYLOR
分类号 H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225;H01S3/097 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
主权项
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