发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR STABILIZING THIN FILM TRANSISTOR CHARACTERISTICS
摘要
申请公布号 JPH07106590(A) 申请公布日期 1995.04.21
申请号 JP19930264081 申请日期 1993.09.29
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 HOTTA HIROYUKI;HIRANO TORU;ENDO NOBORU
分类号 H01L21/324;H01L21/326;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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