发明名称 METHOD FOR SPECIFYING DEFECTIVE PART OF IC
摘要
申请公布号 JPH0792239(A) 申请公布日期 1995.04.07
申请号 JP19930257624 申请日期 1993.09.21
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 KURIHARA MASAYUKI;GOSEKI AKIRA
分类号 G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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