发明名称 |
CORRECTION PRISM UNIT AND ALIGNER EMPLOYING IT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0766110(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
申请号 |
JP19930215841 |
申请日期 |
1993.08.31 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOMATSU HISATAKA;SEKIYA TOMOJI;OE ATSUSHI |
分类号 |
G02B7/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 |
主分类号 |
G02B7/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|